[발명의 명칭]
이오나이저에 의해 이물질에 의한 불량률을 감소시키는 웨이퍼의 검사 방법(wafer inspection method for reducing defect rate by foreign matter using ionizer)
[출원번호/일자)]
2023-0052224 (2023.04.20)
[등록번호/일자)]
2828765 (2025.06.30)
[요약]
스테이지로 이송된 피검사 웨이퍼를 CCD카메라로 촬영하여 정렬시키는 제1단계; 상기 피검사 웨이퍼의 표면을 상기 CCD카메라로 컬러 스캔하는 제2(a)단계; 상기 컬러 스캔과 동시에 이오나이저(Ionizer)의 작동을 On하여, 상기 피검사 웨이퍼의 표면에 존재하는 이물질을 제거하는 제2(b)단계: 상기 컬러 스캔이 종료되면, 상기 이오나이저의 작동을 Off시키는 제3단계; 및 상기 피검사 웨이퍼의 결함 여부를 판정하는 제4단계;를 포함하는 이오나이저에 의해 이물질에 의한 불량률을 감소시키는 웨이퍼의 검사 방법을 제공한다.
[대표도면]
