[발명의 명칭]
챔버 모니터링 장치 및 방법(apparatus and method for monitoring chamber)
[출원번호/일자)]
2018-0136211 (2018.11.07)
[등록번호/일자)]
2666445 (2024.05.10)
[요약]
본 발명은 진공 챔버의 모니터링 장치 및 방법에 관한 것으로서, 내부에 다수의 할로겐 램프들이 구비된 하나 이상의 공정 챔버; 상기 공정 챔버에 진공을 공급하기 위한 진공 펌프; 상기 공정 챔버 및 진공 펌프에 연결된 진공 라인을 개폐시키기 위한 하나 이상의 밸브; 상기 진공 라인에 연결되어 둘 이상의 가스분석기가 배치된 가스 감지부; 및 제어부를 포함하는 챔버 모니터링 장치 및 방법에 관한 기술적 사상을 개시한다.
[대표도면]
