[발명의 명칭]
파티클 측정 장치 및 이를 이용한 측정 방법(apparatus for measuring paricles and measuring method for using the same)
[출원번호/일자)]
2018-0143855 (2018.11.20)
[등록번호/일자)]
2590033 (2023.10.11)
[요약]
본 출원은 내부에 하나의 메인 홀을 가지는 대상물에 부착된 파티클을 측정하기 위한 장치 및 방법에 관한 것으로서, 밀폐된 내부 공간을 제공하는 챔버; 상기 챔버의 일면에 위치하여 내부 공간으로 가스를 분사하는 하나 이상의 클리닝 노즐; 상기 챔버의 일면에서 수직 방향으로 연장되어 위치하고, 대상물의 메인 홀 내부로 가스를 분사하는 제1 파티클 부유 노즐; 상기 챔버의 측면에 위치하고, 대상물의 외면에 가스를 분사하는 하나 이상의 제2 파티클 부유 노즐; 상기 챔버의 내부에 위치하며, 대상물을 거치시키는 타공 선반; 상기 챔버 내부에 위치하여 파티클을 포집하는 하나 이상의 프로브; 상기 챔버의 내부 공간에 연결되어 가스가 배출되는 배기 라인; 및 상기 프로브 또는 상기 챔버의 하부에서 연결되어 포집된 파티클을 이동시키는 둘 이상의 측정기 라인을 포함하는 파티클 측정 장치 및 이를 이용하는 측정 방법에 관하여 개시한다.
[대표도면]
