[발명의 명칭]
레이저 빔의 균질도가 향상된 레이저 가공 시스템(laser processing system with improved homogeneity of laser beam)
[출원번호/일자)]
2022-0028950 (2022.03.07)
[등록번호/일자)]
2654236 (2024.03.29)
[요약]
레이저빔을 발생시키는 레이저부; 상기 레이저부에서 발생된 상기 레이저빔을 확대시키는 빔익스팬더부; 상기 빔익스팬더부에서 확대된 상기 레이저빔의 빔 확산 각도를 조절하여, 상기 레이저빔의 에너지 분포를 제어하는 빔분포제어모듈; 상기 빔분포제어모듈에서 제어된 상기 레이저빔을 일부만 통과시키는 슬릿유닛; 및 상기 슬릿유닛을 통과한 상기 레이저빔의 광 경로 상에 배치되며, 상기 레이저빔을 집광하여 피가공체로 조사시키는 광학계;를 포함하는 레이저 빔의 균질도가 향상된 레이저 가공 시스템을 제공한다.
[대표도면]
