[발명의 명칭]

3-ccd 컬러 카메라를 이용한 웨이퍼의 검사 방법(wafer inspection method using 3-ccd color camera)

[출원번호/일자)]

2023-0050224 (2023.04.17)

[등록번호/일자)]

2907670 (2025.12.30)

[요약]

정상 웨이퍼의 표면 중 적어도 어느 일부 또는 전부를 CCD카메라로 촬영한 원본이미지를 이미지 전처리하여 레퍼런스이미지를 획득하는 제1단계; 스테이지에 정렬된 피검사 웨이퍼의 표면을 상기 CCD카메라로 컬러 스캔하여 스캔이미지를 획득하는 제2단계; 상기 스캔이미지에 색 필터를 이용하여 명암 차이가 최소화된 비교대상이미지를 생성하는 제3단계: 및 상기 레퍼런스이미지와 상기 비교대상이미지를 1차 비교하여 상기 피검사 웨이퍼 상의 결함 여부를 판정하는 제4단계;를 포함하는 3-CCD 컬러 카메라를 이용한 웨이퍼의 검사 방법을 제공한다.

[대표도면]

[상세보기]